硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物,通式为SinH2n+2。其中,甲硅烷最为常见,有时也将甲硅烷简称为硅烷。
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