高纯水(High purity water)是指25℃时电导率小于0.1 μs/cm和残余含盐量小于0.3 mg/L,并去除了非电介质的微量细菌、微生物、微粒等杂质的水。制备方法有蒸馏、膜分离、离子交换和灭菌。主要用于电子和微电子工业,也用于食品、造纸、医药、电子、核工业等行业 。 高纯水主要应用在电子和微电子工业上,也用于食品、造纸、医药等行业。随着半导体器件由过去的单电路发展到集成电路,对水质的要求就越来越高。在半导体切片和研磨过程中,须用高纯水进行清洗,即使只有微粒尘埃杂质,也会影响产品质量 。
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